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在多晶硅薄膜制造装置中也可使用RTP 将得到的灯光用平光镜聚光 然后缓慢地移动位置 使多晶硅薄膜再结晶化。


在多晶硅薄膜制造装置中也可使用RTP,将得到的灯光用平光镜聚光,然后缓慢地移动位置,使多晶硅薄膜再结晶化。

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