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简述RTP在集成电路制造中的常见应用。

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在多晶硅薄膜制造装置中也可使用RTP 将得到的灯光用平光镜聚光然后缓慢地移动位置使多晶硅薄膜再结晶化。

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在多晶硅薄膜制造装置中也可使用RTP 将得到的灯光用____聚光然后缓慢地移动位置使多晶硅薄膜再结晶化。

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