在多晶硅薄膜制造装置中也可使用RTP 将得到的灯光用____聚光然后缓慢地移动位置使多晶硅薄膜再结晶化。

在多晶硅薄膜制造装置中也可使用RTP，将得到的灯光用____聚光，然后缓慢地移动位置，使多晶硅薄膜再结晶化。

A、凸透镜

B、凹透镜