用等离子体CVD法得到的微晶硅 在1980年前后就有研究机构报道了结果 由于微晶化带来的低电阻 主要被用于a-Si太阳能电池的n层。

用等离子体CVD法得到的微晶硅，在1980年前后就有研究机构报道了结果，由于微晶化带来的低电阻，主要被用于a-Si太阳能电池的n层。