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硅芯炉控制系统包括上轴速度控制单元下轴速度控制单元籽晶托盘控制单元温度控制单元几部分。()

硅芯炉控制系统包括上轴速度控制单元、下轴速度控制单元、籽晶托盘控制单元、温度控制单元几部分。（)

是

否

参考答案

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