下述IC工厂外部振源各种传播途径中 正确的是（)。A.外部振源→主体结构→地基基础→精密设备B.外

下述IC工厂外部振源各种传播途径中，正确的是()。

A.外部振源→主体结构→地基基础→精密设备

B.外部振源→精密设备→主体结构→地基基础

C.外部振源→地基基础→主体结构→精密设备

D.外部振源→精密设备→地基基础→主体结构